重大突破！芯片光刻胶关键技术被攻克：原材料全部国产 配方全自主设计
发布时间：2024-12-27 12:08:57 作者：玩站小弟 
我要评论
我要评论快科技10月25日消息，据华中科技大学官微消息，近日，该校武汉光电国家研究中心团队，在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。据介绍，其研发的T150A光刻胶系列产
。
快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”
相关文章
在AI领域奋起直追！苹果要对Siri大革新 2026年正式发布
据知情人士对媒体透露，苹果公司正在努力开发更具对话功能的Siri数字助手，旨在赶上OpenAI的ChatGPT和其他语音服务。上述知情人士说，新Siri的细节尚未公布，它使用了更先进的大型语言模型LL2024-12-27
【王思聪挺徐晓冬来龙去脉 徐晓冬是谁？真挑战还是炒作】近日，格斗狂人徐晓冬近来话题不断，他先是20秒KO太极拳宗师雷公，随后又在社交网络下战书，声称要挑战整个传统武术圈的掌门人。对此，有网友花10002024-12-27
在一片浩瀚的蔚蓝里，星星点点的船舶如过江之鲫，往来于全球各大港口间。船名、经纬度、航速、目的港等信息实时呈现。站在宁波环球航运广场45层宁波舟山港调度指挥中心的电子海图前，五洲航运冷暖尽收眼2024-12-27
据国家能源局消息，国家能源局公布首批“互联网+”智慧能源(能源互联网)示范项目，首批“互联网+”智慧能源(能源互联网)示范项目共55个。首批示范项目原则上应于2017年8月底前开工2024-12-27
REDMI K80发布会前竟然送了5瓶辣椒酱 雷军在线玩梗：狂暴辣！
快科技11月22日消息，REDMI大满贯旗舰K80已经定于11月27日正式发布。今日，不少媒体收到了K80的性能礼盒——打开一看，竟然是5瓶辣椒酱。REDMI品牌总经理王腾解释2024-12-27
周一7月3日），商品期货市场午盘普遍飘红，黑色系震荡走高，螺纹钢、热卷、铁矿石、焦煤、锰硅涨超2%；化工品、有色金属小幅上扬，甲醇、聚丙烯、沥青、橡胶、沪锌、沪铅、沪铝、沪镍等均涨超1%；贵2024-12-27
最新评论